无尘室(Clean Room),也称为洁净室。
盛世国际 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除,并将室内的温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内,而给予特别设计的房间。
盛世国际 不论外面空气条件如何变化,其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
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无尘室的污染来源
污染源主要有四种:人员、空气、表面、产品。人员的主要污染源主要来自于人体外细胞的正常脱落和着装,另外人的嘴和鼻子也能污染空气,说话、咳嗽、打喷嚏也能产生大量的微生物粒子,也是污染的关键。
洁净度等级
国家标准GB50073-2001
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美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)无尘室洁净度参照
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盛世国际 目前FPC行业主要线路压干膜、干膜曝光、覆盖膜贴合、油墨印刷、感光油墨曝光等工序使用无尘室,主要无尘室等级选用万级(7级)或者10万级(8级),部分大的工厂会使用到千级无尘室(6级)。
FPC行业无尘室常用的测试指标:
盛世国际 温度:23+/-2℃
相对湿度:60+/-10%
室内压差:5-20PA
洁净室设计
盛世国际 气流组织型式及换气次数
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